产品服务

MCS风刀纳米光罩除尘机

MCS优势：
1. 产品品质与良率提升
2. 降低材料损耗
3. 降低成本
4. 解决客户处理pellicle问题
每撕掉pellicle EUV为例一层pellicle大约台币100萬元，重新上一片pellicle需要很长的作业时间。
做法：透过UPC系统可以解决pellicle撕掉、重工问题
只需帮生产线清洁六次的Pellicle，让它可以重复利用就可以赚回一台UPC投资。
5. 竞争优势：
通过T公司验证:千级除尘率5um 95％；
用于3~5～200nm纳米EUV Reticle同时兼容KrF/ArF Reticle；
机器内每万片晶圆曝片的落尘数从数百降到个位数，清除pellicle上particle。